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        高精度直線電機升降臺 派迪威儀器

        產(chǎn)品資料下載:
        產(chǎn)品型號:PT-ZXZ 50
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        品牌PDV/派迪威應用領域綜合

        高精度直線電機升降臺產(chǎn)品參數(shù):

        型號 PT-ZXZ 50 PT-ZXZ 100
        行程(mm) 50 100
        負載(kg) 4 4
        分辨率(um) 0.1 0.1
        最小步進量(um) 0.3 0.3
        單向重復定位精度/保證值(um) ±0.5 or 1 ±0.5 or 1
        單向重復定位精度/典型值(um) ±0.2 or 0.6 ±0.3 or 0.6
        雙向重復定位精度/保證值(um) ±1 or 2 ±1 or 2
        雙向重復定位精度/典型值(um) ±0.5 or 1 ±0.5 or 1
        定位精度/保證值(um) ±2 or 4 ±2 or 4
        定位精度/典型值(um) ±1 or 2 ±1 or 2
        最大速度(mm/s) 100 100
        直線度(um) 10 10
        平整度(um) 10 10
        偏擺 20 20
        俯仰 20 20
        持續(xù)推力(N) 17.6 17.6
        峰值推力(N) 88 88
        重量(kg) 6.5 10.2

         

        ※ 備注

        1:水平放置下的中心垂直負載。

        2:最小運動增量不等同于分辨率,最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說,系統(tǒng)分辨率遠小于最小運動增量。考慮傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響,直線電機位移臺與步進電機位移臺相比,其最小運動增量更加接近于分辨率。

        3:精度測量數(shù)據(jù)是平臺在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數(shù)據(jù)。

        4:典型值和保證值的區(qū)別見技術指南。

        5:最大速度為典型值,根據(jù)負載和控制器的不同會有區(qū)別。

         

        高精度直線電機升降臺產(chǎn)品詳情:

        高精度、結(jié)構(gòu)緊湊、集成靈。

        直線電機垂直升降臺,專為需要高精度垂直定位的實驗室和工業(yè)應用而設計。升降臺采用直線電機驅(qū)動,具備高精度、高穩(wěn)定性、低噪音等特點,結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,提供多種行程和配置選擇,滿足多樣化的應用需求。

         

        主要特點:

        多種行程可選,滿足更多應用需求: 提供 50mm 和 100mm 兩種行程選擇,結(jié)構(gòu)緊湊,可靈活集成于各種空間受限的應用場景。

        精密結(jié)構(gòu),穩(wěn)定可靠: 采用集成式一體化交叉滾柱導軌和高品質(zhì)直線電機,結(jié)合標準化安裝工藝,確保運動精度和長期穩(wěn)定的可靠性,Pitch 和 Yaw 精度表現(xiàn)優(yōu)異。

        高分辨率,精細控制: 升降臺采用直線電機驅(qū)動,擁有微步能力,配合高性能控制器,可實現(xiàn)微米級的精細定位,滿足對精度的追求。

        兩種配重方案,適應不同應用環(huán)境: 可選配恒力彈簧或氣缸配重,滿足不同負載和速度需求,保證運動平穩(wěn)、一致性高。

        *音運行,打造舒適環(huán)境: *音位移臺,適用于對噪音敏感的實驗室環(huán)境和高性能工業(yè)場所。

        強大軟件支持,輕松操控: 免費標準版 SDK,支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開發(fā)語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用戶進行二次開發(fā)和系統(tǒng)集成。

        高性能控制器,實現(xiàn)復雜運動: 控制器支持圓弧插補、直線插補、位置記憶和任意圖形導入,可滿足各種復雜運動控制需求。(選配)

        靈活通訊,無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制,實現(xiàn)高速、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸。

         

        產(chǎn)品應用:

        精密Z軸 Precision Z-axis、儀器設備 High-end Equipment、半導體檢測 Semiconductor Inspection、半導體切割 Semiconductor Cutting。

         

        性能實測:

        產(chǎn)品尺寸:

         

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